Recubrimiento de carburo de silicio | Protección de SiC de alta pureza para grafito
Protección de SiC de alta pureza mediante deposición química de vapor
La deposición CVD clásica de carburo de silicio produce superficies lisas, densas y químicamente estables con una excelente resistencia a la temperatura. Perfectas para aplicaciones con los más altos requisitos de pureza.
Ventajas del recubrimiento de carburo de silicio CVD
Máxima pureza para procesos sensibles
Alta resistencia a la oxidación y la corrosión
Muy buena adhesión al grafito
Aplicaciones típicas de los recubrimientos de carburo de silicio CVD
portador de obleas
Producción de semiconductores y energía fotovoltaica