Revêtement en carbure de silicium | Protection en SiC haute pureté pour graphite
Protection en SiC de haute pureté par dépôt chimique en phase vapeur
Le dépôt CVD classique de carbure de silicium permet d'obtenir des surfaces lisses, denses et chimiquement stables, présentant une excellente résistance à la température. Il est idéal pour les applications exigeant une pureté maximale.
Avantages du revêtement en carbure de silicium CVD
Pureté maximale pour les procédés sensibles
Haute résistance à l'oxydation et à la corrosion
Très bonne adhérence au graphite
Applications typiques des revêtements en carbure de silicium CVD
porte-plaquette
Production de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques