Biała księga TACCOTA
TACCOTA® to opatentowana powłoka z węglika tantalu, opracowana we współpracy z Instytutem Fraunhofera IISB. Niezależnie od tego, czy chodzi o wzrost kryształów, epitaksję, implantację jonów, czy zastosowania plazmowe – TACCOTA® zwiększa trwałość komponentów, przyczyniając się tym samym do znacznie dłuższej żywotności i poprawy wydajności procesu.
Pobierz dokument informacyjny