Powłoka z węglika krzemu | Wysokiej czystości ochrona grafitu SiC
Ochrona SiC o wysokiej czystości poprzez chemiczne osadzanie z fazy gazowej
Klasyczne osadzanie węglika krzemu metodą CVD zapewnia gładkie, gęste i stabilne chemicznie powierzchnie o doskonałej odporności na temperaturę. Idealne do zastosowań o najwyższych wymaganiach czystości.
Zalety powłoki z węglika krzemu CVD
Maksymalna czystość dla wrażliwych procesów
Wysoka odporność na utlenianie i korozję
Bardzo dobra przyczepność do grafitu
Typowe zastosowania powłok z węglika krzemu CVD
nośnik opłatków
Produkcja półprzewodników i ogniw fotowoltaicznych